กรรมวิธีการผลิตเครื่องเคลือบฟิล์มบางคาร์บอนบนผิวชิ้นงานภายใต้ความดันสัญญากาศใช้ไมโครเวฟพลาสมา

-
สิทธิบัตร
ชูพงษ์ ภาคภูมิ (100)
คณะวิทยาศาสตร์